국내 반도체, 디스플레이 공정 장비업체를 위한 전자기장 해석 방법론 웨비나 [월간 시뮬리아 | 2021년 8월호] 반도체, 디스플레이 산업에서 플라즈마 활용 공정 방식이 널리 사용되고 있습니다. 플라즈마 공정은 저압의 중성 기체에 전자기장 인가하여 플라즈마를 발생시키고, 이를 통해 얻어진 전자와 이온을 공정에 따라 적절하게 활용하는 방식입니다. 따라서 공정 장비 내에서 인가된 DC 혹은 AC 전자기장에 의한 플라즈마의 발생, 전기, 자기장의 분포, 전자와 이온의 움직임 등을 확인할 수 있는 시뮬레이션은 반도체, 디스플레이 공정 장비 설비 & 설계에 큰 도움이 됩니다. 금번 웨비나에서는 현재 국내외 많은 반도체, 디스플레이 공정 장비업체에서 활발하게 활용되고 있는 Dassault Systems의 CST S..
